1. 확산 레시피 설정하기
- 확산 레시피는 원하지 않는 형태로 결과가 나왔다면 파라미터 설정을 진행합니다
- Tutorial_1_1_Recipe 를 선택합니다
- 왼쪽 탭에서 다음 작업들을 구성하였습니다
- 메뉴를 구성하는 작업은 기준레서피에서 수정이 가능합니다
- 숫자를 낮게 줄이면 노이즈를 많이 줄일 수 있으나 이미지가 뭉게져 보입니다
- 왼쪽 상단 "?" 에 마우스를 가져가면 사용방법을 알 수 있습니다
- 타원형의 원을 5개 선택해주세요
- 이미지창에서 마우스를 가져가면 밝기가 현재 몇으로 되어 있는지 알 수 있습니다
- 해당 밝기보다 낮게 숫자를 설정하고 "greater"로 설정합니다
- 이 레시피에서는 전체면적과 전체평균 밝기를 측정합니다
- SMF에 들어가 DM필드이름 또는 IDBS에서 사용할 CD Variable을 설정해주세요
2. 확산 레시피 검증하기
- DEFECT 1개를 테스트하였으로, 여러 이미지를 검증해야 합니다
- 시뮬레이션을 눌러서 웨이퍼를 선택합니다
- 시뮬레이션 화면에서 결과를 확인할 수 있습니다
- 더이상 파라미터를 조정할 필요가 없다면 등록해서 다음에도 사용할 수 있습니다
